توفر هذه المواصفة القياسية الدولية الإرشادات المتعلقة بتعريف العناصر والتحقق من وجود العناصر المحددة داخل حجم محدد (على مقياس ميكرومتر3) الواردة في العينات، عن طريق تحليل أطياف الأشعة السينية التي تم الحصول عليها باستخدام المقاييس الطيفية بالأشعة السينية المشتتة للموجة على التحليل الدقيق بالمسبار الإلكتروني أو على المجهر الإلكتروني الماسح.